（來(lái)源：上觀新聞）

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為了解??決這個(gè)問(wèn)題，????先進(jìn)的刻蝕技???????術(shù)至關(guān)重要?????，例如低溫刻蝕（?????通過(guò)將晶圓溫???♀???度降低到零度以下???來(lái)控制反應(yīng)副??????♀?產(chǎn)物）和脈沖?????電壓技術(shù)（????PVT，可??精確控制等離子????體離子的能量????）????。