（來(lái)源：上觀新聞）

” 他????還補(bǔ)充說(shuō)，“我????無(wú)法想象???♂?沒(méi)有蘋(píng)???果的生活”????。以3n????m制程為????例，極紫外光刻????機(jī)的雙工件臺(tái)???♀?需要在真空環(huán)??境下實(shí)現(xiàn)??皮米級(jí)（pm??）對(duì)準(zhǔn)精度，刻蝕??機(jī)必須在??毫秒級(jí)??時(shí)間內(nèi)完成????反應(yīng)腔室內(nèi)氣?????體壓力與射頻????功率的協(xié)??????同調(diào)整，??薄膜沉積??????設(shè)備則要在原子層??厚度（約?????0.1??nm）上實(shí)現(xiàn)膜?厚的均???????勻性控制??????漂亮鄰居。

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