（來源：上觀新聞）

此外，隨著結(jié)構(gòu)精??細化程度的提高???，字線和位線區(qū)??域的布線電????阻和RC延遲????問題也日益加劇，??這使得間隙??????填充技術(shù)對????于可靠地填充空隙??????????????????變得尤為重要????。

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