（來源：上觀新聞）

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這三位都深耕于技????術(shù)，深知行業(yè)??動(dòng)態(tài)，????當(dāng)然，?他們?cè)诩夹g(shù)生態(tài)??系統(tǒng)中也有著非??常廣泛的人7??脈??????。尤其是在縱橫????比極高????的情況????下，使用??傳統(tǒng)的?沉積方????法很難保證薄膜質(zhì)????量均勻直至底部????，因此，幾乎????可以完美覆蓋整個(gè)??3D形貌的原子??層沉積（????ALD）工藝幾乎???♂?是必不可少的??????。