（來源：上觀新聞）

研究人員利用等??離子體增強原????小姨子愛上我子層沉積（PEA???LD）技術，共????形沉積了IGZO??????????/HfOx/I????ZO疊層????結(jié)構(gòu)，在55納??????米溝道長?????♀?度下實現(xiàn)了?92 mV/???♂?dec的低亞閾???值擺幅（S??S）和32.8 ?????μA/μ??m的導???♀?通電流，??為實現(xiàn)2T0??????C、4F2單元結(jié)??構(gòu)奠定了堅實??的基礎??。

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