（來源：上觀新聞）

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研究人員利用等??????離子體????增強(qiáng)原子層沉積（??PEALD）技術(shù)??，共形????沉積了IGZO????/HfOx/????IZO疊??層結(jié)構(gòu)，在55??納米溝道??長度下實?現(xiàn)了92 mV/????dec的低?????亞閾值擺幅（??????SS）和32.8????? μA/μ?????m的導(dǎo)通電流，為???實現(xiàn)2T0???♀?C、4F2單?元結(jié)構(gòu)奠定????????了堅實的基????礎(chǔ)???。一個開??源項目剛????剛發(fā)布??了????♂?。